Come tutti sappiamo, esiste un solo produttore al mondo in grado di produrre litografia EUV, è l'ASML olandese.
E il motivo per cui l'unico al mondo, questo è perché ASML sarà un sacco di produttori chiave raggruppati insieme, come la società di ottica tedesca Zeiss (Zeiss), e poi gli Stati Uniti Cymer, e poi il tedesco Tom Fast Group (TRUMPF ) e così via.
ASML ha legato questi produttori al suo carro attraverso investimenti, acquisizioni, partecipazioni, creazione di centri di ricerca e così via, e questi produttori, probabilmente gli unici produttori al mondo in grado di produrre questi prodotti, quindi alla fine solo ASML è in grado di produrre litografia EUV nel mondo.
Tuttavia, di recente, una catena di approvvigionamento chiave di ASML, è corsa a Shenzhen, in Cina, per costruire una fabbrica, la sua filiale di Shenzhen si è stabilita a Baoan Sino-German (Europa) Industrial Demonstration Park.
Questo produttore è il Tom Fast Group tedesco (TRUMPF), è la litografia EUV di ASML, l'unico fornitore di sorgenti laser al mondo.
I prodotti TRUMPF nella litografia EUV, quanto sono importanti? Innanzitutto, lasciami spiegare il principio della litografia EUV, capirai.
Il principio della litografia EUV, per dirla semplicemente, è incentrato su tre sistemi principali, sistema di sorgente luminosa UV EUV, sistema di lenti obiettivo e sistema di tavolo.
Il processo specifico consiste nell'utilizzare il laser per eccitare una lunghezza d'onda di 13,5 nm di luce ultravioletta estrema, quindi dopo la correzione per formare un raggio di luce controllato, quindi questo raggio di luce viene proiettato sul tavolo della fotomaschera e quindi proiettato attraverso l'obiettivo specchio al tavolo di esposizione, e infine inciso il circuito sul wafer di silicio rivestito di fotoresist.
Il modo in cui si ottiene uno dei sistemi di sorgenti luminose UV EUV è bombardando una gocciolina di metallo di stagno (Sn) con un laser CO2 da 30 kW di potenza, facendola evaporare in un plasma e ottenendo infine la luce EUV con lunghezza d'onda di 13,5 nm.
Questo laser CO2 da 30 kW è fornito da TRUMPF, unico al mondo nel suo genere.
Non sottovalutare questo laser CO2, ha 457.329 parti, la lunghezza del cavo nel sistema è fino a 7.322 metri e il peso è di 17.090 kg, che è uno dei componenti principali più importanti nella litografia EUV.
Ora TRUMPF è corso in Cina per costruire una fabbrica, l'intenzione è chiara, cioè ottimista sul mercato laser cinese, e una visione ancora più a lungo termine, ottimista sul mercato della litografia cinese, il futuro potrebbe cooperare con la Cina per costruire la litografia EUV .
In effetti, esiste già più di una catena di fornitura ASML che corre in Cina per costruire una fabbrica, prima che ci siano KMWE e altri produttori, anche in Cina per costruire una fabbrica.
Secondo la tendenza attuale, possiamo aspettarci ottimisticamente che potrebbe non passare molto tempo prima che la tecnologia di litografia cinese sarà un grande passo avanti, e anche il volume della litografia EUV in uscita, può anche guardare avanti, pensi?
